池田屋供应TORAY东丽 氧化锆氧气浓度计在半导体、电子行业用氧气浓度计领域多年积累的制造经验,针对真空设备等用途而开发的产品。配备了本公司小型氧化锆传感器,可实现长期稳定、高精度的测量,同时还配备了氧传感器保护机制,实现了超越传统产品的耐用性。此外,氧气传感器和转换单元采用分离设计,非常适合纳入需要更高速处理的设备和应用中。
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池田屋供应TORAY东丽 氧化锆氧气浓度计
池田屋供应TORAY东丽 氧化锆氧气浓度计
氧化锆 EtherCAT 氧气浓度计LD-600/SD 传感器低于 10 ppm10 ppm 或更多1000ppm(0.1%)以上负压/大气压DC电源以太网CE 标志
LD-600/SD EtherCAT通信氧气浓度计是利用本公司在半导体、电子行业用氧气浓度计领域多年积累的制造经验,针对真空设备等用途而开发的产品。
配备了本公司小型氧化锆传感器,可实现长期稳定、高精度的测量,同时还配备了氧传感器保护机制,实现了超越传统产品的耐用性。此外,氧气传感器和转换单元采用分离设计,非常适合纳入需要更高速处理的设备和应用中。
产品特性
可以进行 EtherCAT 通信
非常适合嵌入使用 EtherCAT 通信的设备和应用程序。
・可节省安装空间
氧传感器与薄型转换器分离,大大减少了安装空间的限制。
・适用于真空环境
直插入式传感器无需采样,即使在真空环境下也可以进行测量。
- 超快响应
单独的传感器提供最短的响应时间。
-高耐用性的传感器
传感器采用特殊涂层,以确保高耐用性。
形状 | 分离型(转换器:固定/壁挂型,传感器:直插型) | |
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表示方式 | 无显示 | |
测量范围 | 0.001ppm 至 100%(10 -20至 10 -0 atm 设置可选) 以 ppm 为单位的浮点输出 | |
传感器连接 | ISO 真空法兰 NW16、25、40 或 R3/8 螺纹 | |
联系 | 转换器与传感器之间的连接是通过专用线进行的, 标准长度为2m,最大长度为10m。 | |
参比气体 | 气氛 | |
量量 | 转换器 | LD-600:约。 0.8公斤 |
传感器 | SD16NW:大约0.2kg SD25NW:约0.2kg SD40NW:约0.35公斤 | |
外形尺寸 | 转换器 | LD-600:65(宽)x 130(高)x 125(深) (单位:mm,不包括突出部分) |
传感器 | SD16NW:总长100mm(检测部φ11×39、主体部φ40×51) SD25NW:总长100mm(检测部φ11×42、主体部φ40×48) SD40NW:总长100mm(检测部φ11×41、主体部φ40×49) (单位:mm,不包括突起部分) 注:根据客户对各个检测部的规格,传感器单元将是SD16NW、SD25NW或SD40NW中的一种。 |
繰返性 | 0 至 1% 范围以上:±0.5%FS 或 以下 0 至 1% 范围以下:±1.0%FS 或 ±0.1ppm,取较大者 * 不保证 0 至 1ppm 范围以下 |
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气点稳定性 | ±1%FS以下/24hr |
预热时间 | 6 分钟或更短 |
通信输出规格 | 通信方式:EtherCAT I/F(符合 ETG 5003.1、ETG5003.2) 配置文件:通用设备配置文件 协议:兼容 ETG 5003.1 CDP(CoE、FoE) |
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样气条件 | 请勿在还原气氛中使用。另外,如果测量气体的比热较高,例如高浓度的He,则可能无法使用。 温度:0~100℃ 压力:10 -3 Pa~200 kPa(绝对压力) 湿度:低于环境温度的 露点 流量:0.5~5 L/min或0 L/min(自然扩散条件下测定) |
预热时间 | 6 分钟或更短 |
電源 | 电源:DC24V、3A 消耗功率:80VA(稳定时:30VA) |
設置条件 | 安装位置:室内、非防爆区域 环境温度:转换器:0 至 40°C 传感器单元:0 至 50°C 环境湿度:35 至 80% RH(无结露) 安装温度:转换器:0 至 40°C 传感器单元:0 至 100°C 不得包含易燃成分、卤素、二氧化硅或腐蚀性成分 |
对于上述规格以外的要求,请另行联系我们。